半导体封装辅助贴膜装置

基本信息

申请号 CN202123212814.6 申请日 -
公开(公告)号 CN215753253U 公开(公告)日 2022-02-08
申请公布号 CN215753253U 申请公布日 2022-02-08
分类号 B65B33/02(2006.01)I;H05F3/00(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 何霄;杨勇平 申请(专利权)人 四川蕊源集成电路科技有限公司
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人 马腾飞
地址 611730四川省成都市郫都区成都现代工业港南片区德源镇菁德路36号1号楼1层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体封装辅助贴膜装置,涉及贴膜辅助设备技术领域,它包括转动连接的底座和上盖,底座上固定有定位环,定位环与铁环相适配,定位环中部固定有晶圆垫,晶圆垫与晶圆相适配;上盖朝向底座的一面固定有压环,压环与定位环相适配。晶圆放置在晶圆垫上,膜覆盖在晶圆和定位环上,铁环对准定位环放置在膜上,操作人员向靠近底座的方向转动上盖,直至压环接触铁环并将铁环紧压至膜上,铁环与膜实现贴合。压环、定位环均与铁环相适配,使得压环压紧铁环时,铁环的一周受力相对均匀,即铁环的不同位置处受力相同,进而使得铁环与膜贴合均匀,防止后续晶圆上机后因贴膜不均匀导致产品报废的情况发生。