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反射式光栅尺

基本信息

申请号	CN202010259720.5	申请日	-
公开（公告）号	CN113124760A	公开（公告）日	2021-07-16
申请公布号	CN113124760A	申请公布日	2021-07-16
分类号	G01B11/02（2006.01）I;G02B5/18（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	巫孟良;李力强;李康辉;吴海明	申请（专利权）人	广东万濠精密仪器股份有限公司
代理机构	广州市一新专利商标事务所有限公司	代理人	刘兴耿
地址	523000广东省东莞市大朗镇象山工业园象山中路39号
法律状态	-

摘要

本发明公开一种反射式光栅尺，包括有光源、镜头、主光栅尺、副光栅尺和接收单元，所述主光栅尺上设有第一光栅条纹，所述副光栅上设有与所述第一光栅条纹相对应的第二光栅条纹，所述接收单元与副光栅尺为相对平行间隔设置，所述光源设置于所述镜头上，所述第一光栅条纹包括RI码道和增量码道，RI码道依次包括第一不反光区、增量码道区、第一反射区、增量码道区、第一不反射区、增量码道区、第二反射区、第二不反光区，接收单元上对应RI码道位置设有接收区，所述接收区依次包括Z+信号区、A+信号区、B+信号区、A‑信号区、B‑信号区、Z‑信号区。本发明优点在于：主光栅与副光栅距离拉远至菲捏尔焦面，RI信号依然强且RI触发位置精准的反射式光栅尺。