稳定型光栅尺

基本信息

申请号 CN202023314934.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214223987U 公开(公告)日 2021-09-17
申请公布号 CN214223987U 申请公布日 2021-09-17
分类号 G01B11/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 巫孟良;胡勇;吴国良;蒋南 申请(专利权)人 广东万濠精密仪器股份有限公司
代理机构 厦门市新华专利商标代理有限公司 代理人 吴成开;徐勋夫
地址 523000广东省东莞市大朗镇象山工业园象山中路39号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种稳定型光栅尺,包括有基板和设置于基板之表面上的多个刻度光栅;每一刻度光栅均包括有下氧化铬层、铬层和上氧化铬层;该下氧化铬层结合固定在基板的表面上,该铬层结合固定在下氧化铬层的表面上,该上氧化铬层结合固定在铬层的表面上。通过由下氧化铬层、铬层和上氧化铬层组成刻度光栅,利用下氧化铬层和上氧化铬层包覆住铬层,氧化铬更硬,可减少划痕,化学稳定性更好,产品更耐用,并且下氧化铬层和上氧化铬层可减少光的反射量,使得平行光质量更好。