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管式清洗设备以及光伏镀膜系统

基本信息

申请号 CN202110205996.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113000487B 公开（公告）日 2022-04-26
申请公布号 CN113000487B 申请公布日 2022-04-26
分类号 B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 奚明;胡兵;阳诗友;吴红星;刘锋;王祥;袁刚 申请（专利权）人 理想晶延半导体设备（上海）股份有限公司
代理机构 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 黄海霞
地址 201620上海市松江区思贤路3255号3幢402
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种管式清洗设备，包括筒形腔体以及设置于所述筒形腔体的清洗供气部。本发明的所述管式清洗设备中，所述清洗供气部包括的若干出气口的一部分朝向所述筒形腔体的同一组成部分设置以使提供的清洗气体形成主喷射轨迹，另一部分朝向所述主喷射轨迹设置，有利于通过自不同出气口喷射的清洗气体相互之间形成扰流，对所述筒形腔体内不同部位，特别是远离所述若干出气口部位的清洗气体浓度起到增强及扰动作用，从而实现清洗气体在筒形腔体内的再混合以及提高待清洗器件和清洗气体的接触面积来提高清洗效率。本发明还提供了包含所述管式清洗设备的光伏镀膜系统。