一种管式炉系统
基本信息
| 申请号 | CN202123348920.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216898401U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216898401U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | F27D11/02（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;F27D1/18（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 戴虹;王鹏;林罡;崔慧敏;施艇;朱加宽 | 申请（专利权）人 | 理想晶延半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201620上海市松江区思贤路3255号3幢402 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种管式炉系统，包括：管式炉体；加热炉丝；保温体；冷却介质管道，所述冷却介质管包括输入端和输出端，所述输入端和所述输出端穿过所述保温体插入所述加热炉丝，以向所述加热炉丝内部通入冷却介质；所述输入端设置于所述加热炉丝轴向上的中心区域，所述输出端设置于所述加热炉丝轴向上的两端区域，将冷却介质从加热炉丝中心区域通入并从两端区域流出，实现快速降温，减少降温时间进而降低整个工艺流程的时长，提高效率；并且根据管式炉的特点，在两端炉门位置散热较快的情况下，提升管式炉系统在长度方向上降温的均匀性，避免载具散热不均而损坏。 |
