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一种用于飞针测试的探针误差补偿方法

基本信息

申请号 CN201910649281.6 申请日 -
公开（公告）号 CN110333471B 公开（公告）日 2021-07-23
申请公布号 CN110333471B 申请公布日 2021-07-23
分类号 G01R35/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 邵勇锋;黄亮;黄龙;汪兴友;周强;曹璐 申请（专利权）人 深圳橙子自动化有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 赖妙旋
地址 518000广东省深圳市宝安区福海街道新田社区新塘路44-1号101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于飞针测试的探针误差补偿方法，包括如下步骤：获取理论扎点位置，粘贴测试纸片于校准位置，控制测试治具移动至理论扎点位置；控制探针的针尖对测试纸片进行扎点，视觉系统获取实际扎点位置，计算出实际针点位置和理论扎点位置的平面相对位置关系；将万用表连接探针并检测探针的接触阻抗，控制探针的针尖沿Z轴上下移动以对测试治具的标准焊盘扎点并获取探针的运动数据，根据接触阻抗数据与探针的运动数据算出实际针点位置的高度；探针根据平面相对位置关系和实际针点位置的高度进行校准。采用探针在测试电极XY平面和高度进行校准的技术手段，克服探针扎点精度低技术问题，提高了飞针测试时探针扎点测试电极精度。