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一种基于游标效应光学谐振腔生化传感芯片

基本信息

申请号 CN201310181087.2 申请日 -
公开（公告）号 CN103308479B 公开（公告）日 2016-07-06
申请公布号 CN103308479B 申请公布日 2016-07-06
分类号 G01N21/45(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 袁国慧;王卓然;高亮 申请（专利权）人 天津瑞晟昱发激光科技有限公司
代理机构 成都宏顺专利代理事务所（普通合伙） 代理人 成都谱视科技有限公司;天津瑞晟昱发激光科技有限公司
地址 610041 四川省成都市成都高新区高朋大道5号1栋110室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的一种基于游标效应光学谐振腔生化传感芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体，其特征在于，所述SOI基体的单晶硅层包含第一光学谐振腔和第二光学谐振腔，所述第一光学谐振腔与第二光学谐振腔具有不相同的自由光谱范围，二者光学耦合连接。由于在方案中引入狭缝光波导结构，而狭缝波导能够将光极大的限制在狭缝区域以增强光和物质之间的相互作用，其优势在于狭缝空间中的光能量密度远远大于倏逝场中光能量的密度，光与物质相互作用更强，检测灵敏度更高。并可以在达到相同传感性能的条件下，有利于实现光学生化传感器的微型化与片上传感系统。