一种真空吸笔
基本信息
| 申请号 | CN202021865726.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213459691U | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN213459691U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈洲峰;王虎 | 申请（专利权）人 | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京众达德权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓冬 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于真空吸笔装置技术领域，具体涉及一种真空吸笔，包括笔杆和吸笔头；其中，所述吸笔头的两端分别设有吸附孔（1）。本实用新型提供的真空吸笔，具有两个吸附孔（1），可吸附在晶圆片有效区之外，且吸附稳固，从而避免了现有技术的真空吸笔会对晶圆片的图形区域造成污染或损伤的缺陷，同时能够提高工作效率。 |
