一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机

基本信息

申请号 CN202021515604.7 申请日 -
公开(公告)号 CN212834013U 公开(公告)日 2021-03-30
申请公布号 CN212834013U 申请公布日 2021-03-30
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 刘昌建 申请(专利权)人 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
代理机构 北京众达德权知识产权代理有限公司 代理人 詹守琴
地址 430000湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机,属于真空镀膜机技术领域。所述百叶窗包括:窗体及两个叶片组;两个所述叶片组均可转动式地设置在所述窗体内,两个所述叶片组相对;所述叶片组包括:传动机构、若干叶片及若干转轴;若干所述叶片与若干所述转轴一一对应,所述叶片朝向所述窗体的端部与相对应的所述转轴固定连接;若干所述转轴背离所述叶片的端部均与所述传动机构连接。本实用新型百叶窗、真空泵及真空镀膜机能提供最佳的抽气效率与吸附效果。