一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机
基本信息
申请号 | CN202021515604.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212834013U | 公开(公告)日 | 2021-03-30 |
申请公布号 | CN212834013U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 刘昌建 | 申请(专利权)人 | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 |
代理机构 | 北京众达德权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 詹守琴 |
地址 | 430000湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机,属于真空镀膜机技术领域。所述百叶窗包括:窗体及两个叶片组;两个所述叶片组均可转动式地设置在所述窗体内,两个所述叶片组相对;所述叶片组包括:传动机构、若干叶片及若干转轴;若干所述叶片与若干所述转轴一一对应,所述叶片朝向所述窗体的端部与相对应的所述转轴固定连接;若干所述转轴背离所述叶片的端部均与所述传动机构连接。本实用新型百叶窗、真空泵及真空镀膜机能提供最佳的抽气效率与吸附效果。 |
