一种晶圆片盒
基本信息
| 申请号 | CN202021529683.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212967633U | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN212967633U | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 胡明;高文丽;尚书丽;王虎;聂铭思;陈雷 | 申请（专利权）人 | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京众达德权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 詹守琴 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆片盒，属于半导体晶圆芯片制作技术领域。所述晶圆片盒包括：所述顶盖可拆卸式地与所述底盖连接；所述压紧机构包括：连接板及多于三个压爪；所述连接板可设置在所述底盖与所述顶盖之间；多于三个所述压爪的第一端与所述连接板固定连接；所述底盖上固定设置有多于三个支撑块，多于三个所述支撑块与多于三个所述压爪一一对应；所述支撑块上开设有安置槽，所述压爪的第二端可压入相对应的所述安置槽内。本实用新型晶圆片盒晶便于操作，可以将晶圆片锁住在水平方向上的位置，从而使得开盖操作转移时，晶圆片不会发生滑动。 |
