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一种吸笔

基本信息

申请号 CN202021530084.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212517152U 公开（公告）日 2021-02-09
申请公布号 CN212517152U 申请公布日 2021-02-09
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡明;舒威;胡杨;陈恳;王虎;聂铭思 申请（专利权）人 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
代理机构 北京众达德权知识产权代理有限公司 代理人 詹守琴
地址 430000湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种吸笔，属于晶圆片吸附技术领域。所述吸笔包括：支撑杆、若干第一伸缩杆、若干连接杆及若干吸盘；若干所述第一伸缩杆的第一端均与所述支撑杆固定连接；若干所述第一伸缩杆与若干所述连接杆一一对应，所述第一伸缩杆的第二端与相对应的所述连接杆的第一端固定连接；若干所述连接杆与若干所述吸盘一一对应，所述连接杆的第二端与相对应的所述吸盘固定连接。本实用新型吸笔操作简便，不受薄片本身只能吸取特定的一面的限制，双面皆可吸，操作简便，避免吸笔头直接接触晶圆片有效区域而造成损伤，可明显消除由吸笔操作造成的各种损伤。