一种二维沟槽型高压SOI-LIGBT结构

基本信息

申请号 CN202022977172.8 申请日 -
公开(公告)号 CN213988866U 公开(公告)日 2021-08-17
申请公布号 CN213988866U 申请公布日 2021-08-17
分类号 H01L23/13(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 周炳;赵承杰;王源政 申请(专利权)人 张家港意发功率半导体有限公司
代理机构 苏州国诚专利代理有限公司 代理人 王丽
地址 215600江苏省苏州市张家港经济开发区(国泰北路1号留学生创业园)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种二维沟槽型高压SOI‑LIGBT结构,包括衬底衬底的上端设有结构本体,结构本体的下端开设有凹槽,衬底的上端齿牙,齿牙的外侧插接于凹槽内,衬底的外壁设有弹性层,弹性层的外侧设有防腐层,防腐层的外侧设有耐磨层。该结构设有多个防护层可以对SOI‑LIGBT结构进行充分的保护;通过齿牙插入到凹槽中,在采用粘胶进行固定,使得衬底与结构本体之间的连接较为紧密。