一种气体循环装置及装置内气体循环方法
基本信息
| 申请号 | CN201410001129.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103966608B | 公开（公告）日 | 2018-05-22 |
| 申请公布号 | CN103966608B | 申请公布日 | 2018-05-22 |
| 分类号 | C23F1/46 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 耐迪·萨多克 | 申请（专利权）人 | 桥德联合自动化（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 陶克（苏州）机械设备有限公司 |
| 地址 | 215022 江苏省苏州市展业路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种与刻蚀液设备连接的气体循环系统及装置内气体循环方法。通过冷凝阶段、洗涤阶段及电渗析阶段能有效地处理刻蚀液再生过程中产生的有害气体。本发明的突出效果为：刻蚀液再生用电解槽结构简单、紧凑，能很好地为再生过程提供需要的加速剂和反应气体；整个再生过程不需要添加任何再生用的添加剂；提高了蚀刻过程的稳定性和灵活性，将大大改善蚀刻工艺；最终无有害气体排出，绿色环保。 |
