一种晶硅制绒设备的挡气板

基本信息

申请号 CN201721192864.3 申请日 -
公开(公告)号 CN207441664U 公开(公告)日 2018-06-01
申请公布号 CN207441664U 申请公布日 2018-06-01
分类号 H01L21/67;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 程强强;霍召军 申请(专利权)人 桥德联合自动化(苏州)有限公司
代理机构 上海申新律师事务所 代理人 库特勒环保科技(苏州)有限公司
地址 215000 江苏省苏州市高新区泰山路6号2幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶硅制绒设备的挡气板,包括一“Y”型框架,其下半部为框架主体,上半部为两块框架挡边;两块框架挡边的内侧面上分别开设有纵向的滑槽,两条滑槽之间设有一透明挡板,框架主体内部设有一伸缩机构,伸缩机构与透明挡板的底部连接。本实用新型安装在制绒设备的进料处,当摆放有晶硅片的篮子需要被送入制绒设备时,伸缩机构控制透明挡板落入框架本体中,以便抓手能够顺利地抓取篮子并将其吊入清洗槽内,当清洗晶硅片时,伸缩机构控制透明挡板上升至最顶处,挡板连同框架一起将制绒设备的进料处封闭起来,以阻挡清洗时产生的酸、碱性气体从制绒设备中发散出来,从而避免车间环境遭受污染,保护了仪器设备和工人健康。