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一种光刻胶去边机

基本信息

申请号	CN201720416655.6	申请日	-
公开（公告）号	CN206627759U	公开（公告）日	2017-11-10
申请公布号	CN206627759U	申请公布日	2017-11-10
分类号	G03F7/42(2006.01)I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林	申请（专利权）人	福建睿创光电科技有限公司
代理机构	福州科扬专利事务所	代理人	福建中科晶创光电科技有限公司;福建睿创光电科技有限公司
地址	350100 福建省福州市闽侯县上街镇科技东路中科院海西研究院（中国科学院福建物质结构研究所）3号楼726室
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种光刻胶去边机，包括真空涂胶装置，所述真空涂胶装置包括一透明硬质腔室和一设于腔室外部并与腔室连接的真空泵，所述腔室内设置有旋转涂胶台、涂胶嘴和刮胶装置，所述涂胶嘴设置在刮胶装置上并位于旋转涂胶台的中心上方；所述刮胶装置包括与腔室顶部连接的操作臂、固定于操作臂自由端的溶剂喷头以及与溶剂喷头连通的溶剂喷雾装置，所述操作臂设置在一与腔室底部连接的L型支架上，操作臂包括第一伸缩支臂和第二伸缩支臂，所述第一伸缩支臂竖直设置，其一端与L型支架自由端下侧壁可转动连接且位于旋转涂胶台的中心上方，第一伸缩支臂绕着第一伸缩支臂与L型支架自由端下侧壁的连接点旋转，其另一端与水平设置的第二伸缩支臂一端连接；所述涂胶嘴设置在第一伸缩支臂和第二伸缩支臂连接处。