一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法

基本信息

申请号 CN201710447079.6 申请日 -
公开(公告)号 CN107121894B 公开(公告)日 2018-05-11
申请公布号 CN107121894B 申请公布日 2018-05-11
分类号 G03F7/20;G02B5/18 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 申请(专利权)人 福建睿创光电科技有限公司
代理机构 福州科扬专利事务所 代理人 福建中科晶创光电科技有限公司;福建睿创光电科技有限公司
地址 350100 福建省福州市闽侯县上街镇科技东路中科院海西研究院(中国科学院福建物质结构研究所)3号楼726室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法,该装置包括激光器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第一透光板、第二透光板和角度规;激光器发出紫外光,分束镜将激光器发出的紫外光分为第一光束和第二光束;第一反射镜反射第一光束穿过第一透光板,第二反射镜反射第二光束穿过第二透光板,第一光束和第二光束最终汇聚于一点;第一反射镜、第二反射镜、第一透光板和第二透光板的位置可调;角度规包括角度规反射镜、精密电动转台和调整架,角度规反射镜反射第一光束至第一透光板上,角度规反射镜反射第二光束至第二透光板上,精密电动转台调整角度规反射镜在水平面上的角度,调整架调整精密电动转台和角度规反射镜二者整体的空间位置。