一种内圆切割夹具定位系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201610078776.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105651171B | 公开（公告）日 | 2017-12-19 |
| 申请公布号 | CN105651171B | 申请公布日 | 2017-12-19 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;陈立元;冯新凯;邹小林;缪龙 | 申请（专利权）人 | 福建睿创光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 福州科扬专利事务所 | 代理人 | 福建中科晶创光电科技有限公司;福建睿创光电科技有限公司 |
| 地址 | 350108 福建省福州市闽侯县上街镇海西高新技术产业园中科院海西研究院工作区3号楼726室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种内圆切割夹具定位系统及方法，所述装夹夹具与器件支架相隔一定距离并排设置；所述光栅元件夹具具有一固定光栅元件的平面，相邻光栅元件的光栅槽方向所成角度为90‑180°；光栅元件夹具固定于装夹夹具上，光栅元件夹具的平面与装夹夹具的平面平行，光栅元件夹具的平面可绕一中心轴旋转；所述单波长激光器、反射镜、刻度板、监控镜头固定于器件支架上，反射镜固定于单波长激光器的光束出射方向，反射镜改变单波长激光器以及光栅元件的光束方向，使光栅元件所产生的衍射光入射到刻度板预定刻度线上；所述监控镜头监控刻度板上衍射光的刻度线位置。本发明具有提高相邻切割边垂直度，提高垂直度控制稳定性，降低切割成本等优点。 |
