单晶炉热场

基本信息

申请号 CN201120426085.1 申请日 -
公开(公告)号 CN202323107U 公开(公告)日 2012-07-11
申请公布号 CN202323107U 申请公布日 2012-07-11
分类号 C30B15/14(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张庆 申请(专利权)人 雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司
代理机构 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 代理人 袁英
地址 625008 四川省雅安市雨城区草坝镇工业集中区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶炉热场,它包括内导流筒(4)、外导流筒(5)、三瓣坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托杆轴基座(10)、加热器(11)、石墨电极(14)和托杆轴(16),石墨电极(14)位于炉体的底部,加热器(11)通过加热器螺栓(13)与石墨电极(14)连接,托杆轴(16)穿过炉底板(15)进入炉体,与托杆轴基座(10)连接,托杆轴基座(10)通过托杆销(9)与坩埚托盘(8)连接,三瓣坩埚(7)安装在坩埚托盘(8)上,三瓣坩埚(7)和坩埚托盘(8)之间为间隙配合,外导流筒(5)安装在三瓣坩埚(7)上方,内导流筒(4)位于外导流筒(5)内部。本实用新型的优点在于结构合理,热效率高,寿命长。