首页/ 江苏晋誉达半导体股份有限公司/ 专利详情

一种溅射台用转移手臂

基本信息

申请号 CN202021695466.5 申请日 -
公开（公告）号 CN213532658U 公开（公告）日 2021-06-25
申请公布号 CN213532658U 申请公布日 2021-06-25
分类号 B25J15/06（2006.01）I;B25J11/00（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 杨涛 申请（专利权）人 江苏晋誉达半导体股份有限公司
代理机构 苏州金项专利代理事务所（普通合伙） 代理人 金星
地址 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，包括支撑架，所述支撑架上端固定连接有底座，所述底座上端面一侧固定连接有第一挡板，所述底座上端面远离第一挡板的一端固定连接有第一放置箱，所述第一放置箱和第一挡板之间固定设置有两个第一滑轨，所述第一放置箱内部固定设置有第一电动机，所述第一电动机的输出端固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆远离第一电动机的一端转动设置在第一挡板中部，所述第一螺纹杆外壁螺纹连接设置有第一滑动座。本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，该装置结构简单，使用方便，可实时监测圆片的位置，减轻工人的劳动强度，提高下料的工作效率，可自动化进行圆片的转移工作，值得推广。