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一种匀胶显影机的显影方法

基本信息

申请号	CN202010754884.5	申请日	-
公开（公告）号	CN111965957A	公开（公告）日	2020-11-20
申请公布号	CN111965957A	申请公布日	2020-11-20
分类号	G03F7/30	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	丁桃宝	申请（专利权）人	江苏晋誉达半导体股份有限公司
代理机构	苏州金项专利代理事务所(普通合伙)	代理人	江苏晋誉达半导体股份有限公司
地址	215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种匀胶显影机的显影方法，包括以下步骤：S1、将晶圆输送至旋转台上；S2、旋转台匀加速至900‑1200rpm并匀速持续50‑60S，显影液喷淋至晶圆表面；S旋转台匀减速至150‑200rpm并匀速持续25‑30S，显影液持续喷淋；S4、旋转台匀减速至0并保持25‑35S，停止喷淋显影液；S5、旋转台匀加速至1050‑1150rpm并持续30‑40s，显影液持续喷淋；S6、旋转台匀减速至150‑200rpm并匀速持续50‑55S，显影液喷嘴停止喷淋并用去离子水清洗；S7、旋转台匀加速至1500‑1600rpm并持续30‑35S；S8、对晶圆表面吹扫氮气持续25‑30S；S9、旋转台停止并将晶圆移出。该显影方法可以改善晶圆线条宽度的均匀性和表面图案的一致性，提高芯片的良品率。