光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法
基本信息
| 申请号 | CN202011291724.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112229114A | 公开（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申请公布号 | CN112229114A | 申请公布日 | 2021-01-15 |
| 分类号 | F25B45/00(2006.01)I | 分类 | 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化; |
| 发明人 | 吴啸;黄文兴 | 申请（专利权）人 | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州金项专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。另外本发明还公开了使用该自动补给装置的自动补给方法，该自动补给方法和装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。 |
