一种热板的圆片顶升装置
基本信息
| 申请号 | CN202021695474.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212542369U | 公开（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申请公布号 | CN212542369U | 申请公布日 | 2021-02-12 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蒋磊 | 申请（专利权）人 | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州金项专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 金星 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种热板的圆片顶升装置，包括箱体，所述箱体上端固定设置有加热装置，所述箱体一侧臂下端固定连接有放置箱，所述放置箱内部固定设置有电机，所述电机的输出端固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆的两端均固定连接有主动锥齿轮，所述箱体内底部固定设置有三个转动底座，所述三个转动底座内部分别转动设置有第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆，所述第一螺纹杆、第二螺纹杆和第三螺纹杆底部均固定连接有从动锥齿轮，所述第一螺纹杆和第二螺纹杆之间固定设置有两个支撑座。本实用新型公开了一种热板的圆片顶升装置，该装置结构简单，使用方便，传动效率高，定位准确，可以有效的降低圆片碎片的风险，值得推广。 |
