一种硅片的旋转预矫正装置
基本信息
| 申请号 | 2020217081204 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212433582U | 公开（公告）日 | 2021-01-29 |
| 申请公布号 | CN212433582U | 申请公布日 | 2021-01-29 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I; | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄佳 | 申请（专利权）人 | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州金项专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 金星 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片的旋转预矫正装置，包括机架，所述机架上设有升降驱动装置驱动的放置平台，所述放置平台上定位有硅片盛放盒，所述机架上设有水平支架，所述水平支架上设有竖向驱动机构，所述竖向驱动机构上驱动有支撑座，所述支撑座上转动安装有矫正机构，所述矫正机构与所述硅片盛放盒的开口端同侧设置。通过竖向驱动机构带动支撑座上升、并靠近硅片盛放盒内的硅片，之后通过转动的矫正机构对硅片施力、并使硅片与硅片盛放盒上的端臂相抵，进而在往光刻机移送硅片前，完成了(位置发生变化的)硅片的复位矫正工作，提高了硅片移送至光刻区域的精确度，有效保障了光刻机正常工作的连续性和工作效率。 |
