一种仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构制备方法及三维纳米结构
基本信息
| 申请号 | CN201910163328.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109911844B | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN109911844B | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I;B82Y40/00（2011.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 章潇慧;龚明 | 申请（专利权）人 | 中车工业研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王庆龙;苗晓静 |
| 地址 | 100070北京市丰台区南四环西路188号十一区6号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供了一种仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构制备方法及三维纳米结构，所述方法包括：在基底表面涂覆光刻胶；控制两束激光入射光呈预设角度照射所述光刻胶表面，利用两束激光入射光的干涉效果在所述光刻胶表面制备周期性的纳米条纹结构，并通过所述激光入射光和所述基底的反射光形成的驻波在所述光刻胶侧面形成周期性的纳米结构；利用表面带有周期性的纳米条纹结构以及侧面带有周期性的纳米结构的光刻胶制备仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构。本发明实施例采用激光干涉光刻法，在光刻胶表面制备出了纳米条纹结构，同时由入射光和基底反射光形成的驻波在光刻胶侧面形成周期性的纳米结构，从而制备得到了仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构。 |
