一种带自动安全锁操作台的光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202021259862.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212569418U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212569418U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;林雅芳;李雅瑜 | 申请（专利权）人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 易敏 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井镇院前村2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种带自动安全锁操作台的光刻机，其结构包括光刻机台、警示器、操作收纳仓和操作台，本实用新型具有以下有益效果，通过设有可滑动的控制器，并将控制器设于操作台座内部，配合操作台设有的防护挡板和活动卡板，使设备需要开启活动卡板并将控制器拖出后才能进行控制使用，在不使用控制器时，防护挡板会自动顶压控制器回缩并在回位后被活动卡板自动锁定，使设备在不使用时会自动对控制器进行防护锁定，更好避免误触的不便和避免外物使控制器损坏，通过在控制台处设有可移动收纳的坐垫、坐垫底座及坐垫支撑杆，使设备在使用时，能够拖动取出座椅，使设备更便于工作人员操作使用，减少另寻座椅和避免站立操作的不便。 |
