一种具有定量供水的防回水光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202021689214.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212623570U | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN212623570U | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;林雅芳;李雅瑜 | 申请（专利权）人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 易敏 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井镇院前村2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种具有定量供水的防回水光刻机，其结构包括光刻机和供水装置，光刻机左端镶嵌设有供水装置，供水装置与光刻机电连接，本实用新型具有以下有益效果，通过在水箱装配座内部设有供水顶压头搭配具有供水活动板的便捷水箱，在放置时供水活动板会被供水顶压头顶起实现水箱供水的开启，而在水箱提起时，供水活动板会自动闭合关闭水箱，使水箱能够通过直接放置装配使用时，便于水箱的装配，使水箱便于更换维修，通过在水箱装配座上设有升降用电机的通电联动装置，并将通电联动装置与阀门的密闭盖板相连，使设备在阀门开启时设备会对升降电机断电，反之则通电，使设备能够防止供水时水箱的升降移动，保证供水的正常运行。 |
