一种简易维护排风变频器的光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202021368738.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212112128U | 公开（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申请公布号 | CN212112128U | 申请公布日 | 2020-12-08 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李俊毅;姚恒裕;林雅芳 | 申请（专利权）人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井镇院前村2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种简易维护排风变频器的光刻机，其结构包括框架、护壳、显示屏、键盘、LP单元、机体组件、电源盒、控制组件、排风组件、工控组件和装卸机构，本实用新型具有以下有益效果，为解决光刻机使用时较难对护壳进行简易的装卸，影响排风变频器维护便利和增加劳动施力的问题，通过在框架上设置了装卸机构，再通过旋出贴板上的螺栓后，再拉动卡持机构，使底板、承接板和贴板在撑架上进行翻转打开，使框架内部展现出，达到便捷有效的对护壳进行装卸，提高排风变频器维护便利和减少劳动施力的效果。 |
