一种可分离组装掩模台的光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202021462768.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212276216U | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN212276216U | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李俊毅;姚恒裕;陈舜钦 | 申请（专利权）人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 地址 | 362300 福建省泉州市南安市石井镇院前村2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可分离组装掩模台的光刻机，其结构包括机座、晶圆装配座、光刻机体、机架、显示器、控制器和掩模台，本实用新型具有以下有益效果，通过设有装配侧板和装配卡杆及第一压缩弹簧，使掩模台能够通过滑动控制头解除装配连接，且掩模台解锁时装配侧板会受第一压缩弹簧的力升起，在装配侧板升起后用户可以抽出掩模板装配台进行维护清洁和更换，通过在装配侧板上设有活动顶板和活动垫板及顶压杆，并在装配卡杆与机座连接处设有外扩板，使装配侧板在进行装配时，外扩板因为可外扩性能够更好的适应不同的装配孔，而顶压杆会因为装配侧板降至底部顶压活动顶板和顶压垫板上升而顶压掩模板装配台，使不同的掩模板装配台也能够稳定装配。 |
