一种激光光能回收型光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202021462204.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212276215U | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN212276215U | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李俊毅;陈舜钦;姚恒裕;李雅瑜;林雅芳 | 申请（专利权）人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 福建安芯半导体科技有限公司 |
| 地址 | 100000 北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种激光光能回收型光刻机，其结构包括下机体、底座、凹槽、蓄电池、充电控制器、操作器、电源线、上机体、可视窗、第一净化装置、流通装置、运作组件、掩模台、物镜、曝光台、微调机构和第二净化装置，所述下机体底端与底座焊接，所述下机体左端设置有凹槽，本实用新型具有以下有益效果，通过在运作组件处的第一壳管、第二壳管和第三壳管内壁分别设置金属片层，而金属片层内壁设置太阳能薄膜电池层，达到了通过加设散射光转电部件以减少电量损耗的有益效果；并且通过在上机体顶端分别设置第一净化装置和第二净化装置，达到了加设多重处理部件以提高抽取空气洁净度的有益效果。 |
