一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法
基本信息
| 申请号 | CN201610116059.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105609591B | 公开（公告）日 | 2017-07-11 |
| 申请公布号 | CN105609591B | 申请公布日 | 2017-07-11 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄明;杨晓琴;林振龙;陈园 | 申请（专利权）人 | 上饶市弘业新能源有限公司 |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 | 代理人 | 江西展宇新能源股份有限公司;江西展宇新能科技有限公司 |
| 地址 | 334100 江西省上饶市经济开发区金光大道8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法，通过人为屏蔽感应器和简单的卡表计算就能精确校准阀门流量，减少了常规校准流量过程中的需停机、排液、校准的模式。节省了异常停机时间，从而提高生产效率。 |
