一种传感器的划切方法

基本信息

申请号 CN201910935117.1 申请日 -
公开(公告)号 CN110581100B 公开(公告)日 2021-12-31
申请公布号 CN110581100B 申请公布日 2021-12-31
分类号 H01L21/786(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 巩向辉;吴其勇;付博 申请(专利权)人 潍坊歌尔微电子有限公司
代理机构 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 杨璐;王昭智
地址 261061 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种传感器的划切方法,包括基板和设置在基板上呈矩阵排列的多个传感器;所述划切方法包括:将所述基板贴装在衬底上;将保护膜粘接在所述多个传感器的顶部;所述保护膜包括胶带层和贴装在胶带层第一表面上的保护层,所述胶带层的第二表面上通过模切的方式形成有多个功能区,每个功能区的两侧具有切口,相邻的两个功能区之间为间隔区,所述多个功能区分别对应的粘接在所述多个传感器的顶部;将所述保护层从所述胶带层上剥离;将所述胶带层上的多个功能区分离;对所述基板进行划切;将所述传感器顶部粘接的功能区去除。