一种传感器及电子设备
基本信息
申请号 | CN201910557212.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110345972B | 公开(公告)日 | 2021-12-31 |
申请公布号 | CN110345972B | 申请公布日 | 2021-12-31 |
分类号 | G01D5/16(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 邹泉波;丁凯文 | 申请(专利权)人 | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
代理机构 | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 王昭智 |
地址 | 261061 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种传感器及电子设备,包括衬底以及连接在衬底上的敏感膜,敏感膜悬置在衬底上且被配置为当受到外力时,在垂直于其膜面的方向上发生形变;在敏感膜上还设置有磁阻;还包括连接在衬底上的固定部,固定部对外力不敏感;固定部与敏感膜位于同一平面内,固定部上邻近磁阻的位置设置有导线,所述导线被配置为通入电流以产生被所述磁阻感应的磁场。根据本公开的一个实施例,敏感膜和固定部位于同一平面内,可以避免传统传感器结构在制造时的对准等问题,由此可以提高检测结构的制作精度,保证了传感器的性能。 |
