一种MEMS传感器及电子产品
基本信息
| 申请号 | CN202121679207.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215288008U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215288008U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 王超;李向光;田峻瑜;方华斌 | 申请（专利权）人 | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 代理机构 | 潍坊正信致远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 贾宝娟 |
| 地址 | 261031山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种MEMS传感器及电子产品，MEMS传感器包括上壳体、下壳体、芯片模组及基板；下壳体罩设在基板上，芯片模组位于下壳体内的基板上，上壳体上设有贯通的透气孔，上壳体和下壳体之间夹设有防水透气膜。电子产品包括产品主体和MEMS传感器。本实用新型不仅具备防水防尘性能，而且制作工艺简单、制造成本低、产品可靠性强。 |
