一种耐腐蚀涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910386092.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110158032B | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN110158032B | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C23C14/08（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C28/04（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白秋云 | 申请（专利权）人 | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都睿道专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 薛波 |
| 地址 | 610200四川省成都市双流区西航港空港二路1166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种耐腐蚀涂层及其制备方法，包括至少一层多孔氧化钇膜层和至少一层致密氧化钇膜层，所述多孔氧化钇膜层和所述致密氧化钇膜层叠覆设置，其中，至少一所述多孔氧化钇膜层涂覆于工件表面，至少一所述致密氧化钇膜层位于所述耐腐蚀涂层的最外层，采用气相沉积法，氧化钇为靶材，以镀膜速度5‑10微米/小时，在工件的表面制备多孔氧化钇膜层；在通氧速度V：0 |
