一种大小可调节的PVD镀膜夹具
基本信息
| 申请号 | CN202021162632.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212834007U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212834007U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白秋云 | 申请（专利权）人 | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都睿道专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市双流区西航港空港二路1166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及镀膜工装技术领域，具体而言，涉及一种大小可调节的PVD镀膜夹具,包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距，夹具本体有第一夹持臂和第二夹持臂组成，基底被第一夹持臂和第二夹持臂夹持，并且，在支架上设置有滑槽，螺杆位于该滑槽内，且螺杆与支架螺纹连接，第一夹持臂和/或第二夹持臂的一端与螺杆螺纹连接，通过转动螺杆，可调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间距，以适用于不同大小的基底。 |
