一种真空镀膜翻转工装
基本信息
| 申请号 | CN202021162634.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212834008U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212834008U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白秋云 | 申请（专利权）人 | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都睿道专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市双流区西航港空港二路1166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及工装夹具技术领域，具体而言，涉及一种真空镀膜翻转工装,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构；所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接；所述翻转机构包括齿轮和调节板，所述齿轮与一所述转轴同轴连接，所述调节板设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮啮合，以带动所述齿轮转动。在本实用新型中，该翻转工装包括夹具，在该夹具上设置有翻转机构，该翻转机构包括齿轮和调节板，齿轮与转轴同轴连接，调节板设有条形齿，通过条形齿与齿轮的啮合，用于带动齿轮转动，进而带动夹具翻转以实现基底的翻转，方便对基底的多面进行镀膜。 |
