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一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具

基本信息

申请号	CN202021158166.3	申请日	-
公开（公告）号	CN212834005U	公开（公告）日	2021-03-30
申请公布号	CN212834005U	申请公布日	2021-03-30
分类号	C23C14/50(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	白秋云	申请（专利权）人	成都超纯应用材料有限责任公司
代理机构	成都睿道专利代理事务所（普通合伙）	代理人	潘育敏
地址	610200四川省成都市双流区西航港空港二路1166号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及工装基底夹具技术领域，具体而言，涉及一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，包括圆环支架、基底夹具和电机，所述圆环支架与镀膜机真空腔的内壁固定连接，所述基底夹具与所述圆环支架转动连接，所述电机的输出端设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述圆环支架同轴；所述基底夹具的一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的轴向与所述基底夹具的载物面平行，且所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。通过电机带动锥齿轮转动,进而带动基底夹具在圆环支架上翻转,使得基底夹具上的基底翻转180°,便于对基底的另一板面进行镀膜,在操作时,无需将基底夹具和基底从真空腔中拿出进行翻面,也无需进行两次抽真空,简化操作过程,提高镀膜效率。