一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具
基本信息
| 申请号 | CN202020736676.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212834004U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212834004U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白秋云 | 申请（专利权）人 | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都睿道专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市双流区西航港空港二路1166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域，具体而言，涉及一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，包括底板、压环和设于底板的用于压紧压环的压紧组件；底板的载物面沿径向开设有滑槽，滑槽底部开设有多个销孔，多个销孔沿径向排列；压紧组件包括压板、弹性压紧件和弹簧销，压板卡设于滑槽且压板可沿滑槽的延伸方向滑动；弹簧销设于压板靠近滑槽槽底的一板面，且弹簧销卡设于销孔，以固定压板；在本实用新型中，在底板的径向上设置有多个销孔，通过将压紧组件上的弹簧销固定在不同的销孔中，调节弹性压紧件与底板中心的间距，再配合相应尺寸的压环，可对不同尺寸的物件进行镀膜，提高了夹具的适用范围，在使用时，只需要更换压环即可，使用方便。 |
