一种蒸发镀膜用回转工装
基本信息
| 申请号 | CN202021158371.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212834006U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212834006U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 白秋云 | 申请（专利权）人 | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都睿道专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市双流区西航港空港二路1166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及公装夹具技术领域，具体而言，涉及一种蒸发镀膜用回转工装，包括电机、支架、传动机构和夹具盘，支架与真空腔的内壁固定连接，传动机构设于支架；传动机构包括中心齿轮和行星齿轮，电机的输出轴与中心齿轮连接，中心齿轮与行星齿轮啮合，以带动行星齿轮自转和公转；行星齿轮同轴设置有连接杆，夹具盘与连接杆可拆卸连接。在本实用新型中，夹具盘与连接杆可拆卸连接，在安装基底时，可将夹具盘与连接杆分离，待夹具盘上按住好基底后，在将夹具盘固定在连接杆上，可拆卸的连接方式，便于安装基底。 |
