一种发光二极管的制造方法
基本信息
申请号 | CN201310159996.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104134728B | 公开(公告)日 | 2018-10-09 |
申请公布号 | CN104134728B | 申请公布日 | 2018-10-09 |
分类号 | H01L33/10;H01L33/22 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 朱广敏;郝茂盛;齐胜利;陈耀;张楠;杨杰;袁根如;陈诚 | 申请(专利权)人 | 上海蓝光科技有限公司 |
代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 余明伟 |
地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种发光二极管的制造方法,包括步骤:1)于生长衬底表面形成至少包括N型层、量子阱层及P型层的发光外延结构;2)形成N电极制备区域;3)对P型层欲制备P电极的区域的表面制备图案化结构;4)于图案化结构表面形成金属反射镜;5)于金属反射镜表面形成透明绝缘层;6)于P型层及透明绝缘层表面形成电流扩展层;7)制作N电极及P电极。本发明于P电极下方增加金属反射镜/绝缘层结构,在节约电流的同时大大地降低了P电极对光线的吸收,对金属反射镜下方的P型层进行粗化,增加出光概率,同时有益于P电极的牢固性。本发明工艺步骤简单,适用于工业生产。 |
