一种基于脊形电极结构的纳米线排列与定位方法

基本信息

申请号 CN201210391210.9 申请日 -
公开(公告)号 CN103708411A 公开(公告)日 2014-04-09
申请公布号 CN103708411A 申请公布日 2014-04-09
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 黄辉;渠波;刘蓬勃 申请(专利权)人 深圳感圣科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号理工大学创新园大厦A1226
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种基于脊形电极结构的纳米线排列与定位方法,其特征是:利用脊形电极结构顶端的电场强度最大效应,通过电场力将纳米线精确定位在脊形结构顶端。在单晶材料衬底上制备的脊形结构侧壁,通常由{110}和{111}等晶面族构成,因此脊形结构的尖锥宽度可以达到纳米级尺度,从而实现纳米线的精确排列与定位;同时脊形结构顶部的胶体还可以有效防止纳米线被电场击穿和损坏。该方法具有工艺简单、适合规模化制备的特点。