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一种基于脊形电极结构的纳米线排列与定位方法

基本信息

申请号 CN201210391210.9 申请日 -
公开（公告）号 CN103708411B 公开（公告）日 2016-01-13
申请公布号 CN103708411B 申请公布日 2016-01-13
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 黄辉;渠波;刘蓬勃 申请（专利权）人 深圳感圣科技有限公司
代理机构 北京金之桥知识产权代理有限公司 代理人 黄辉;渠波;刘蓬勃;深圳感圣科技有限公司
地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号理工大学创新园大厦A1226
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种基于脊形电极结构的纳米线排列与定位方法，具体步骤包括：第一步：在衬底表面制备出细长的脊形结构；第二步：通过镀膜和光刻工艺，在所述脊形结构的两端分别制备电极；第三步：在通过涂胶工艺，在所述衬底表面覆盖一层胶体；由于胶体具有流动性，会使衬底平坦化，因此所述脊形结构顶部的胶体比其他部位的胶体薄；第四步：将含有纳米线的溶液，滴在所述衬底表面；在所述脊形结构两端的电极上施加电场，则所述纳米线会被吸附并定位在所述脊形结构的顶部，实现纳米线的精确定位；本发明通过脊形电极结构来精确控制纳米线的排列位置，具有工艺简单、适合规模化制备的特点。