水冷板式隔热冷却装置
基本信息
申请号 | CN201120215168.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202126184U | 公开(公告)日 | 2012-01-25 |
申请公布号 | CN202126184U | 申请公布日 | 2012-01-25 |
分类号 | F27D1/12(2006.01)I | 分类 | 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕; |
发明人 | 侯建;王震 | 申请(专利权)人 | 锦州佑鑫电子材料有限公司 |
代理机构 | 锦州辽西专利事务所 | 代理人 | 李辉 |
地址 | 121000 辽宁省锦州市松山新区工业园曙光街3号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种水冷板式隔热冷却装置,包括隔热本体,在隔热本体内设有水套夹层,在隔热本体上固设有分别与水套夹层相通的进水管和出水管,其特征是:所述的隔热本体为L型,所述的进水管设在隔热本体的后部立板下端,出水管设在隔热本体的前部水平板面上端,在隔热本体上沿圆周方向均布有三个电极穿孔。优点是:由于隔热本体为L型,强度高,不易颤动,避免了生产坩埚过程中因颤动而掉落杂质,提高了产品的质量和合格率;通过向水套夹层内部通入循环水进行冷却,可对隔热本体上方和后方隔断热源,可延长后部升降机构的直线轴承等部件的使用寿命。 |
