水冷板式隔热冷却装置

基本信息

申请号 CN201120215168.6 申请日 -
公开(公告)号 CN202126184U 公开(公告)日 2012-01-25
申请公布号 CN202126184U 申请公布日 2012-01-25
分类号 F27D1/12(2006.01)I 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 侯建;王震 申请(专利权)人 锦州佑鑫电子材料有限公司
代理机构 锦州辽西专利事务所 代理人 李辉
地址 121000 辽宁省锦州市松山新区工业园曙光街3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种水冷板式隔热冷却装置,包括隔热本体,在隔热本体内设有水套夹层,在隔热本体上固设有分别与水套夹层相通的进水管和出水管,其特征是:所述的隔热本体为L型,所述的进水管设在隔热本体的后部立板下端,出水管设在隔热本体的前部水平板面上端,在隔热本体上沿圆周方向均布有三个电极穿孔。优点是:由于隔热本体为L型,强度高,不易颤动,避免了生产坩埚过程中因颤动而掉落杂质,提高了产品的质量和合格率;通过向水套夹层内部通入循环水进行冷却,可对隔热本体上方和后方隔断热源,可延长后部升降机构的直线轴承等部件的使用寿命。