石英坩埚自动清洗线装置
基本信息
| 申请号 | CN201620320108.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205496227U | 公开（公告）日 | 2016-08-24 |
| 申请公布号 | CN205496227U | 申请公布日 | 2016-08-24 |
| 分类号 | B08B9/30(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F26B15/18(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 王震;孙兴旺 | 申请（专利权）人 | 锦州佑鑫电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 锦州辽西专利事务所 | 代理人 | 锦州佑鑫电子材料有限公司;锦州佑鑫石英科技有限公司 |
| 地址 | 121000 辽宁省锦州市松山新区工业园曙光街3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种石英坩埚自动清洗线装置，包括喷淋室和烘干室，其特征在于：喷淋室和烘干室之间增设风淋室，喷淋室、风淋室、烘干室三者依次相接、相通，支撑框架对应喷淋室、风淋室、烘干室底部位置设有滚轴传送带，喷淋室内侧壁、顶部及底部均设有进水管路，各个进水管路上分别设有朝向喷淋室内侧的自转喷头，各个进水管路的进水口与柱塞泵出口相连，风淋室内侧壁、顶部及底部均设有风管，各个风管上分别设有朝向风淋室内侧的出风口，各个风管的进风口与室外排风管路相连，烘干室内侧壁和顶部均设有石英加热管。其将清洗及烘干功能融为一体，显著提高生产效率，降低生产成本，减轻工人劳动强度，且避免坩埚搬运过程中造成污染。 |
