一种UV纳米光刻机设备
基本信息
| 申请号 | CN201821764905.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209103102U | 公开（公告）日 | 2019-07-12 |
| 申请公布号 | CN209103102U | 申请公布日 | 2019-07-12 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 郑跃勇;刘斌 | 申请（专利权）人 | 宁波微迅新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宁波微迅新材料科技有限公司 |
| 地址 | 315000 浙江省宁波市江北区姜湖路219号3幢3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种UV纳米光刻机设备，包括光源、聚光透镜组、遮光镜、聚光透镜、第一折射镜、凹面反射镜及工作平台，所述聚光透镜组前还设有滤光镜和滤波器，所述聚光透镜组为多组鹰眼聚光镜，所述滤光镜、滤波器、鹰眼聚光镜、遮光镜、聚光透镜位于同一轴线上，且与所述第一折射镜对应，所述第一折射镜与一侧上方的凹面反射镜对应，所述凹面反射镜与其下方的工作平台对应。本实用新型通过加设滤光镜和滤波器，对光线进行处理，是是光刻时，只进行一种颜色且按特定方向进行光刻，其光刻效果更好。 |
