一种工件清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201810103910.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108284107A | 公开（公告）日 | 2018-07-17 |
| 申请公布号 | CN108284107A | 申请公布日 | 2018-07-17 |
| 分类号 | B08B7/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 安徽静斯德科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 王戈 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市包河区徽州大道5136号滨湖世纪城临滨苑B幢1110室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种工件清洗方法。该方法包括：将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内；启动电源，使留在等离子体发生器内的工作气体放电，产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗；预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压。本发明提供的工件清洗方法，能够避免产生废水，减少环境污染。 |
