体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统
基本信息
| 申请号 | CN201910273067.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111786652B | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN111786652B | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | H03H9/15（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I;H03H9/46（2006.01）I;H03H9/54（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 罗海龙 | 申请（专利权）人 | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统，形成于压电谐振层外围的且悬空于空腔上方的底电极凸起部和顶电极凸起部，能够阻挡压电谐振层产生的横波向空腔外围传输，将横波反射回有效工作区中，继而减少和降低了声波损耗，使谐振器的品质因子得到提高，最终能够提高器件性能。进一步地，底电极搭接部和顶电极搭接部与空腔的重叠部分均是悬空的，且底电极搭接部和顶电极搭接部相互错开，可以大大降低寄生参数，并避免漏电、短路等问题，能够提高器件可靠性。 |
