移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置
基本信息
申请号 | CN202010705565.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113965691A | 公开(公告)日 | 2022-01-21 |
申请公布号 | CN113965691A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
分类号 | H04N5/232(2006.01)I;H04N5/225(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
发明人 | 韩凤芹;桂珞;王邦旭 | 申请(专利权)人 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 |
代理机构 | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 高静 |
地址 | 201210上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置,移动机构包括:固定平台;横向驱动电极,位于固定平台上;横向可动电极,相对于横向驱动电极横向排布且有预设间距,包括与横向驱动电极相对的第一横向可动电极;第一纵向驱动电极,位于固定平台上;纵向可动电极,相对于第一纵向驱动电极纵向排布且连接横向可动电极;导线,一端固定,另一端与横向可动电极或纵向可动电极固定电性连接;第一吸合电极,位于横向可动电极上方,第一吸合电极通过隔离层与第一横向可动电极固定连接;可移动平台,包括第二吸合电极和可动极板,第二吸合电极在纵向上与第一吸合电极相对设置。本发明移动机构的移动精度高。 |
