移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置

基本信息

申请号 CN202010705565.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113965691A 公开(公告)日 2022-01-21
申请公布号 CN113965691A 申请公布日 2022-01-21
分类号 H04N5/232(2006.01)I;H04N5/225(2006.01)I 分类 电通信技术;
发明人 韩凤芹;桂珞;王邦旭 申请(专利权)人 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司
代理机构 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 高静
地址 201210上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309
法律状态 -

摘要

摘要 一种移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置,移动机构包括:固定平台;横向驱动电极,位于固定平台上;横向可动电极,相对于横向驱动电极横向排布且有预设间距,包括与横向驱动电极相对的第一横向可动电极;第一纵向驱动电极,位于固定平台上;纵向可动电极,相对于第一纵向驱动电极纵向排布且连接横向可动电极;导线,一端固定,另一端与横向可动电极或纵向可动电极固定电性连接;第一吸合电极,位于横向可动电极上方,第一吸合电极通过隔离层与第一横向可动电极固定连接;可移动平台,包括第二吸合电极和可动极板,第二吸合电极在纵向上与第一吸合电极相对设置。本发明移动机构的移动精度高。