薄膜表声波谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011280224.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114513180A | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN114513180A | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | H03H3/02（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人 | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 代理机构 | 北京思创大成知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 201210上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种薄膜表声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜表声波谐振器包括：具有多个第一叉指的第一叉指电极、具有多个第二叉指的第二叉指电极，第一叉指与第二叉指间隔设置；第一连接线，至少位于第一叉指的其中一端，与第一叉指电连接；第二连接线，至少位于第二叉指的其中一端，与第二叉指电连接；第一连接线与第一叉指之间具有第一间隙，第一连接线与第一叉指通过跨越第一间隙的第一互连电极连接；和/或，第二连接线与第二叉指之间具有第二间隙，第二连接线与第二叉指通过跨越第二间隙的第二互连电极连接。本发明将叉指与相应连接线通过相应间隙隔开，以降低叉指之外的金属结构对叉指的振动阻碍，同时避免对叉指端部的表面声波造成扰动。 |
