表声波谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010761041.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114070256A | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN114070256A | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | H03H9/25（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 黄河;李伟;罗海龙 | 申请（专利权）人 | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 代理机构 | 北京思创大成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘亭 |
| 地址 | 201210上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种表声波谐振器及其制造方法，所述表声波谐振器包括：基板及设置于基板上的压电层；叉指换能器，设置于压电层的上表面；叉指换能器的间隙之间设有第一介质层，至少部分第一介质层的下表面与压电层的上表面之间设有第一空腔。本发明通过在第一介质层临近压电层一侧开设第一空腔，使得叉指换能器的间隙之间的第一介质层悬空，以便于将沿压电层表面传播至第一介质层悬空处的声波反射回去，从而减少声波的损耗；通过叉指换能器将第一空腔分割为多个子第一空腔，以便于将叉指换能器临近于压电层表面的部分暴露于空气中，从而便于消除叉指换能器边界的杂波，进而提升谐振器的整体性能。 |
